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具有均匀光束的准分子激光器
通过在线性准分子激光器(30)的每一端定位有多个谐振腔镜(32，34)，准分子激光束横向模式中的精细结构被最小化。在一端，高反射端镜(32)和部分反射端镜(34)相对于彼此以小角度倾斜。在另一端，两个输出耦合镜(36，3...
I·布拉金T·米苏亚耶夫P·范德维尔特
一种准分子激光器及其线宽压窄模块
本发明涉及激光线宽调节技术领域，公开了一种准分子激光器及其线宽压窄模块，其中线宽压窄模块包括：壳体，壳体内部形成有容纳腔，壳体上开设有通光孔用以光线进入容纳腔；棱镜，棱镜设置于容纳腔且正对于通光孔设置；光栅，光栅也设置于...
祝桂鹏杨军红孙涛
一种准分子激光器的放电电路及激光器
本申请实施例提供一种准分子激光器的放电电路及激光器。在本申请实施例中，放电电路，包括：峰化电容、与峰化电容并联的放电等离子体区以及与峰化电容并联的开关支路；当峰化电容的充电电压达到预置击穿电压，根据预设延时时间，控制开关...
姜鑫先刘斌吴劲松张晓录牛自彪
一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置
本发明公开了一种用于准分子激光器气体的过滤循环装置，属于准分子激光器的技术领域，包括：矩形腔体；过滤器，其包括中空圆柱状的外壳体，所述外壳体上端分别安装有进气管路和输气管路，所述外壳体内部安装有净化箱体；涡轮泵，转动设置...
江侣凡李谚
提高放电稳定性的电极结构及准分子激光器
本发明提供了一种提高放电稳定性的电极结构及准分子激光器，该电极结构包括放电腔内设置的长条形状的阴极和阳极，阴极和/或阳极上设置有多个冷却通孔；冷却通孔贯穿阴极和/或阳极宽度方向的两个侧面，且整体上沿放电腔内工作气体的流动...
姜鑫先刘斌陈文斌王庆军
一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置及其应用
本发明属于石英合成领域，具体涉及一种准分子激光器用合成石英玻璃制备装置及其应用。包括疏松体沉积系统和疏松体烧结系统；疏松体沉积系统由外向内依次设有石英外腔体，顶部开口的石英内腔体和旋转石英引杆；疏松体烧结系统由外向内依次...
刘利肖华吴龙波钟媛于渊洁
准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统
本公开提供了一种准分子激光器高压脉冲电源固态开关的控制及监测系统，包括：环境信号采集及处理单元，用于采集所述准分子激光器的工作环境信号，并形成环境状态监测信号；多路状态互锁单元，连接至环境信号采集及处理单元，用于锁存环境...
曹沛徐向宇江锐袁钊李学张兵
一种准分子激光器
本实用新型公开了一种准分子激光器，包括用于对激光气体进行除尘的除尘腔体及用于激发激光气体的谐振腔体，除尘腔体及谐振腔体之间设有能够连通二者的导气管，除尘腔体内部沿气体流动方向至少设有两个金属网，金属网与高压电源连接，金属...
田赟朱能伟
一种紫外准分子激光器
本发明公开了一种紫外准分子激光器，包括箱体，所述的箱体内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件，所述的箱体内还设有用于控制激光发生组件工作的控制器，所述的箱体上还设有至少四个用于支撑到支撑面上的支...
田赟朱能伟
一种预电离结构及准分子激光器
本发明提供了一种预电离结构及准分子激光器，预电离结构包括放电腔内设置的电极和预电离绝缘介质管；在电极的长度方向上，预电离绝缘介质管和电极之间的间距变化设置。本发明在电极长度方向上，预电离绝缘介质管与电极间距不等，或呈一定...
吴亦轩邢英金吴劲松刘斌刘广义徐向宇
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周翊
作品数：239被引量：72H指数：5
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：准分子激光器 分子激光器 激光器 激光 放电区
王宇
作品数：304被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：准分子激光器 分子激光器 激光 波像差 分压
赵江山
作品数：140被引量：36H指数：4
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：准分子激光器 激光器 激光 气体激光器 分子激光器
方晓东
作品数：172被引量：360H指数：9
供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院
研究主题：准分子激光器 准分子激光 激光技术 脉冲激光沉积 准分子
沙鹏飞
作品数：94被引量：25H指数：4
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：准分子激光器 激光器 激光 气体激光器 线宽