搜索到 篇“ 刻蚀深度 “的相关文章

相关作者

周常河
作品数：452被引量：383H指数：11
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
王博
作品数：24被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：刻蚀深度 电子束直写 光学全息 纳米 石英
王国宏
作品数：242被引量：86H指数：5
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：氮化镓 发光二极管 多量子阱 衬底 外延片
冯吉军
作品数：27被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：刻蚀深度 透射 光栅 熔融石英 电子束直写
王圩
作品数：367被引量：184H指数：7
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：激光器 电吸收调制器 分布反馈激光器 单片集成 硅基