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单晶硅生产设备
本实用新型涉及一种单晶硅生产设备。该设备包括单晶炉、坩埚、保温组件及顶升组件；坩埚设置于单晶炉内；保温组件包括保温层和固毡，保温层套设于坩埚，且位于单晶炉的炉壁和坩埚之间，固毡铺设于单晶炉的炉底，固毡包括内毡和套设于内毡...
黄晓林马玉花妥延庆陈奕峰
一种单晶硅开方方法
本发明涉及一种单晶硅开方方法，利用一种开方机，其包括上料机构、转运机构、转运机构的旁侧的单晶硅夹持机构，单晶硅夹持装置上方设置有能上下移动的移动切割架，移动切割架内侧具有线切割装置，切割移动架的上设置有回转件，回转件偏心...
李海威梁兴华李元业郑光健廖书阳沈锦锋梁洁李波赖晓锟
单晶硅片烘干装置
本申请涉及一种单晶硅片烘干装置。单晶硅片烘干装置包括槽体、槽门以及线性引导机构，槽体一侧设有敞口；槽门设于槽体具有敞口的一侧；线性引导机构包括至少一个线性引导单元，线性引导单元包括设置于槽体具有敞口的一侧的隆起部以及与槽...
杨剑波程帅詹治城纪光宇章兹多
直拉单晶硅加热装置
本实用新型公开了直拉单晶硅加热装置，用于对坩埚进行加热，包括沿坩埚上升方向依次设置的第一加热区、第二加热区和第三加热区，在第一加热区并联有第一电阻和第一开关，且第一电阻和第一开关串联，在第二加热区并联有第二电阻和第二开关...
周惠关树军洪华路建华曾宏强
单晶硅的制备方法
本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体提供一种单晶硅的制备方法，旨在解决单晶硅制备过程中晶裂概率高的问题。为此目的，本发明的单晶硅的制备方法包括：在主炉室内晶棒脱离熔硅液面至晶棒上升到预设高度的第一阶段，使晶棒处于第一状态，...
李海峰孙文明黄晓林马玉花
一种单晶硅片倒角装置
本实用新型公开了一种单晶硅片倒角装置，属于单晶硅片倒角技术领域，包括支撑板，支撑板表面固定安装有第一滑轨，第一滑轨上滑动安装有第二滑轨，第二滑轨上滑动安装有安装板，安装板表面固定安装有转动电机，转动电机的输出固定安装有砂...
姚锋
一种单晶硅棒切割装置
本发明涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种单晶硅棒切割装置，其可以通过调节单晶硅棒每一次切割完毕之后的移动距离，从而能够保证每一次切割的单晶硅片厚度一致；并且可以限制内圆切割片的移动轨迹，从而保证单晶硅片的...
王昌华
一种单晶硅片生产设备
本申请涉及硅片生产领域，公开了一种单晶硅片生产设备。本申请中，一种单晶硅片生产设备，包括设备主体，所述设备主体的上端设置有加热仓，所述加热仓的相邻位置设置有隔离板，所述隔离板的表面开设有凹槽，所述隔离板侧面滑动连接有滑动...
傅志斌刘之文佟兴雪傅欣刘龙龙郭广刘明郭海腾
一种单晶硅片扩散工艺
本发明公开了一种单晶硅片扩散工艺，包括第一步，进行待扩散单晶硅片的准备；第二步，进行清洁后的单晶硅片涂层；第三步，通过工艺仿真软件，进行掺杂模拟；第四步，进行气相掺杂；第五步，进行单晶硅片掺杂后的冷却固化；第六步，对掺杂...
倪金乐李建飞吴永前吴杨刘胜严前程
单晶硅料箱清洗设备
本发明公开了一种单晶硅料箱清洗设备，涉及单晶硅生产技术领域，该发明包括第一安装架以及设置在第一安装架一侧的第二安装架，第一安装架上设有用于翻转料车的翻转装置，在料车宽度方向的两侧对称设置有第一限位结构，第一限位结构的驱动...
王振华廖定坤孙月领欧阳雄
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相关作者

杨德仁
作品数：967被引量：890H指数：15
供职机构：浙江大学
研究主题：太阳电池 硅 欧姆接触电极 硅片 直拉硅单晶
余学功
作品数：196被引量：71H指数：6
供职机构：浙江大学
研究主题：太阳电池 硅 单晶硅 硅片 太阳能电池
裘安萍
作品数：174被引量：271H指数：11
供职机构：南京理工大学
研究主题：单晶硅片 硅 玻璃衬底 硅微陀螺仪 谐振式加速度计
施芹
作品数：143被引量：162H指数：9
供职机构：南京理工大学
研究主题：单晶硅片 硅微陀螺仪 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计
苏岩
作品数：287被引量：259H指数：9
供职机构：南京理工大学
研究主题：陀螺 单晶硅片 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计