搜索到 篇“ 压电薄膜 “的相关文章

相关作者

欧欣
作品数：363被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 缺陷层 键合 压电薄膜 谐振器
庞慰
作品数：253被引量：7H指数：2
供职机构：天津大学
研究主题：谐振器 滤波器 压电层 电子设备 电极
黄凯
作品数：113被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：缺陷层 衬底 键合 压电薄膜 晶圆
金家楣
作品数：541被引量：153H指数：7
供职机构：南京航空航天大学
研究主题：压电驱动 压电 超声电机 椭圆运动 贴片式
王亮
作品数：456被引量：200H指数：7
供职机构：南京航空航天大学
研究主题：压电驱动 压电 贴片式 压电作动器 椭圆运动