搜索到45篇“ 双焦干涉“的相关文章
- 激光双焦干涉球面轮廓仪
- 一种激光双焦干涉球面轮廓仪，其特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较，其优点是仪器抗干扰能力强，适用范围广，检测精度高，如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测，纵向分辨率为0.1nm，...
- 卓永模杨甬英徐敏张为权
- 文献传递
- 激光双焦干涉球面轮廓仪
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- 文献传递
- 一种双焦干涉平面微观轮廓仪被引量：1
- 1998年
- 激光双焦干涉表面微观轮廓仪在测量原理上首次实现完全共路干涉和无需参考面的突破，为在加工现场对超光滑表面的实时检测提供了可能。本文论述了一种产品化的双焦干涉平面微观轮廓仪的测试原理和控制过程，着重介绍其软件的功能结构和关键算法，最后给出了和进口Ｗｙｋｏ轮廓仪比对的结果。
- 程华山卓永模杨甬英
- 关键词：双焦干涉
- 激光双焦干涉球面轮廓仪
- 一种激光双焦干涉球面轮廓仪,共特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较,其优点是仪器抗干扰能力强,适用范围广,检测精度高,如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测,纵向分辨率为0.1nm,...
- 卓永模杨甬英徐敏张为权
- 文献传递
- 双焦干涉球面轮廓仪机构分析
- 1996年
- 介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对议器结构的核心部分：扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。
- 徐敏卓永模杨甬英
- 关键词：双焦干涉轮廓仪
- 双焦干涉球面微观轮廓仪被引量：10
- 1995年
- 本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统；五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面（如光学透镜，球面反射镜及滚珠等）的无损精密检测。实测结果表明该仪器的纵向分辨率可达０．１ｎｍ，横向分辨率小于２ｕｍ。
- 卓永模杨甬英徐敏王元庆
- 关键词：干涉仪
- 激光双焦干涉球面轮廓仪实时扫描及数据处理系统被引量：3
- 1994年
- 介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪，该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm～±30mm的球面进行扫描驱动及采样，并将球面轮廊信号通过A/D转换及数据处理后显示打印表面轮廓参数。整个系统功能齐全。
- 杨甬英卓永模徐敏
- 关键词：双焦干涉轮廓仪数据处理表面粗糙率
- 双焦干涉表面微观轮廓检测被引量：13
- 1993年
- 本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触针式表面轮廓仪对同一样品表面测试结果进行了比对,获得了满意的结果。
- 卓永模杨甬英徐敏张为权
- 双焦干涉球面轮廓仪
- 双焦干涉球面微观轮廓仪是利用双焦偏振共光路干涉及电子共模抑制技术设计的新型表面轮廓仪。本仪器具有分辨率高，抗干扰能力强，无需专门参考面，能自动扫描采样并显示表面二维轮廓及数据等优点，是目前国内外首次研制成功的能用于各种球...
- 关键词：
- 关键词：双焦干涉表面轮廓仪轮廓仪
- 双焦干涉表面轮廓实时检测的研究
- 赖东峰
相关作者
- 杨甬英
- 作品数：219被引量：476H指数：12
- 供职机构：浙江大学
- 研究主题：球面 非球面 干涉仪 波前 疵病
- 卓永模
- 作品数：77被引量：149H指数：8
- 供职机构：浙江大学
- 研究主题：非球面 干涉仪 波前 轮廓仪 球面
- 徐敏
- 作品数：10被引量：38H指数：4
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室
- 研究主题：双焦干涉 轮廓仪 干涉仪 型宽 信号处理
- 周志尧
- 作品数：17被引量：16H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题：原子 超精细结构 激发态 空心阴极灯 荧光法
- 程华山
- 作品数：1被引量：1H指数：1
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系
- 研究主题：双焦干涉
