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- 一种堇青石陶瓷基板的制备方法
- 本发明提供了一种堇青石陶瓷基板的制备方法,包括如下步骤:S1.堇青石陶瓷前驱体的配置与活化:按质量分数称取氧化镁、氧化铝、二氧化硅和掺杂剂,加入球磨罐中与去离子水混合,进行一次球磨活化得到第一浆料,烘干,得到所述堇青石前...
- 黄端平 毛万紫徐庆张枫
- 近零膨胀堇青石陶瓷的制备被引量:1
- 2024年
- 堇青石陶瓷由于具有热膨胀系数较低、力学性能优良及密度低等优点,是理想的光刻机方镜材料。目前,国内对方镜用堇青石陶瓷研究较少,因此,开展相关研究对于推进高端堇青石陶瓷零部件的国产替代具有重要意义。以La^(3+)为掺杂剂,采用溶胶—凝胶工艺制备了Mg_((2−x))La_(x)Al_(4)Si_(5)O_((18+0.5x))系列堇青石陶瓷,研究了La^(3+)掺杂对堇青石陶瓷显微结构、热膨胀性能及力学性能的影响。结果表明:随着La^(3+)引入量的增加,堇青石陶瓷样品的热膨胀系数从负膨胀逐渐向正膨胀转变。当La^(3+)引入量(x)为0.15时,所得样品在(22.0±0.5)℃的热膨胀系数绝对值≤0.020×10^(−6)K^(−1),此时样品的弯曲强度为211.44 MPa,弹性模量为145.77 GPa,达到了方镜材料的性能指标要求。在烧结过程中,引入的La^(3+)会取代堇青石结构中的Mg^(2+)造成六元环的畸变,另外还会生成液相促进致密化烧结,这两方面的协同作用实现了对堇青石陶瓷性能的有效调控。
- 王峰贺智勇王晓波周士杰
- 关键词:堇青石陶瓷热膨胀系数弹性模量
- 一种反应烧结制备堇青石陶瓷的方法
- 本发明涉及一种反应烧结制备堇青石陶瓷的方法,属于堇青石陶瓷制备领域。针对现有原料固相反应法制备堇青石陶瓷存在的问题,本发明提供反应烧结制备堇青石陶瓷的方法,由以下步骤组成:(1)将纳米MgO粉体、纳米Al<Sub>2</...
- 章健郭雅淑赵瑾葛烨陈超傅岑昕刘文龙王士维毛小建
- 偏组成堇青石陶瓷材料结构与性能被引量:1
- 2024年
- 堇青石陶瓷具有热膨胀系数低、抗热震性好、耐高温等特点,被广泛应用于高低温急剧变化的环境。如何进一步降低堇青石陶瓷的热膨胀系数,提升其使用性能,仍然是国内外研究的热点,以单层片状结构的苏州高岭土、滑石和γ-Al_(2)O_(3)为原料,设计了不同的配比组成并制备了堇青石低膨胀陶瓷样品。采用XRD、SEM、CTE和EPMA等测试技术对样品的结构和性能进行了表征。探究了偏化学计量不同配比组成对合成堇青石陶瓷的结构与性能的影响。结果表明:偏镁样品(Si/Al为1.34时)合成的是单一的纯相堇青石;样品的热膨胀系数为1.91×10^(-6)℃^(-1) (25℃~800℃),抗折强度为50 MPa,气孔率为20%,体积密度为1.90 g·cm^(-3)。风冷热震循环试验(25℃~1000℃) 30次后抗折强度损失率仅为2.66%。偏镁组成中的MgO促进了高温液相的生成,液相传质推动高温化学反应充分进行,提高了样品中的堇青石含量(达到了99 wt.%),生成的堇青石晶粒定向排列,降低了样品的热膨胀系数,提高了样品的抗热震性。
- 吴建锋魏鹏徐晓虹谢国斌陈智超
- 关键词:堇青石陶瓷热膨胀系数抗热震性
- 低热膨胀系数的堇青石陶瓷研究进展
- 2024年
- 堇青石陶瓷具有较低的热膨胀系数、良好的化学稳定性、较高的强度等优点,在冶金、催化剂、耐火材料等领域得到广泛应用,尤其是伴随着半导体行业的发展,堇青石陶瓷已成为高端装备陶瓷结构件用关键材料。为此,简述了堇青石陶瓷的固相合成法、溶胶-凝胶法、熔融玻璃法等制备方法,综述了通过调控原料配比和粒径、掺杂其他元素、调整烧成工艺等途径降低堇青石陶瓷热膨胀系数的研究现状,并讨论了低热膨胀系数的堇青石陶瓷在不同领域中的应用现状,展望了低热膨胀系数的堇青石陶瓷未来的研究方向。
- 王不赖王峰白志民王晓波贺智勇
- 关键词:堇青石陶瓷热膨胀系数半导体固相合成法
- 高强度多孔堇青石陶瓷材料的制备方法
- 本发明提供了一种高强度多孔堇青石陶瓷材料的的制备方法。本发明利用聚丙烯纤维的韧性,在陶瓷坯料中通过丝网固定陶瓷坯料,增加了陶瓷坯料的强度。陶瓷浆料挤出工艺的升级,聚丙烯纤维固定了糊状淀粉,使得淀粉不会在压力的作用下团聚在...
- 闫佳琪刘岗朱储红程书佳
- 高强度多孔堇青石陶瓷材料的制备方法
- 本发明提供了一种高强度多孔堇青石陶瓷材料的的制备方法。本发明利用聚丙烯纤维的韧性,在陶瓷坯料中通过丝网固定陶瓷坯料,增加了陶瓷坯料的强度。陶瓷浆料挤出工艺的升级,聚丙烯纤维固定了糊状淀粉,使得淀粉不会在压力的作用下团聚在...
- 闫佳琪刘岗朱储红程书佳
- 一种二次铝灰制备堇青石陶瓷的方法
- 本发明提供了一种二次铝灰制备堇青石陶瓷的方法,所述方法包括:将二次铝灰与矿化剂混合进行焙烧,得到矿化料;将矿化料与酸液混合进行酸解;将所得酸解渣与硅源和/或镁源混合球磨,得到混合料;将混合料干法压制成型,再进行烧结,得到...
- 李少鹏左正平李会泉张建波武文粉李占兵
- 基于伴生稀土高岭土制备致密堇青石陶瓷的研究
- 2024年
- 堇青石具有优良的力学性能,主要用于耐火材料等领域。本研究以天然高岭土矿物粉末为原料,通过成分调整并采用固相烧结法制备了高性能的堇青石陶瓷,利用气孔率、XRD、SEM、维氏硬度、抗弯强度等分析测试方法对堇青石结构和性能进行了表征。研究表明:堇青石陶瓷配比为伴生稀土高岭土80.2wt.%、氧化铝7.6wt.%和氧化镁12.2wt.%,当烧结温度由1100℃提升至1250℃,且原料粒度由100目降至300目,样品中堇青石相含量增加到96.6%,体积密度达到2.51 g/cm^(3)、致密度高达99.8%,维氏硬度上升至11.56 GPa,抗弯强度达到127 MPa,经3次热震循环后,材料的抗弯强度达到150 MPa。综合堇青石材料对硬度、抗弯强度与抗热震性能的要求,其最佳烧结温度为1200℃,且原料粒度越小,堇青石结构与性能越好。
- 张登冯雪茹高雄张家敏彭玉青潘志铖戴宗明
- 关键词:堇青石陶瓷烧结温度粒度
- 一种高弹性模量致密堇青石陶瓷材料的制备方法
- 本发明涉及一种高弹性模量致密堇青石陶瓷材料的制备方法,包括如下步骤:步骤一:制备GeO<Sub>2</Sub>‑SnO<Sub>2</Sub>体系非晶添加剂;步骤二:按重量百分比:MgO 11~16%、Al<Sub>2<...
- 肖卓豪 肖晓东 李秀英 梁华银 孔令兵
相关作者
- 贾德昌

- 作品数:642被引量:824H指数:15
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:复合陶瓷 力学性能 陶瓷 复合材料 陶瓷复合材料
- 刘阳桥

- 作品数:80被引量:171H指数:8
- 供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
- 研究主题:碳纳米管 石墨烯 悬浮液 氧化铝 粉煤灰
- 周玉

- 作品数:880被引量:2,040H指数:23
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:陶瓷 复合材料 力学性能 复合陶瓷 复相陶瓷
- 郭伟

- 作品数:125被引量:408H指数:12
- 供职机构:盐城工学院
- 研究主题:镍渣 煤矸石 高掺量粉煤灰烧结砖 粉煤灰 烧结砖
- 王少洪

- 作品数:99被引量:236H指数:9
- 供职机构:沈阳大学机械工程学院辽宁省新型功能材料与化学工艺重点实验室
- 研究主题:堇青石 石墨烯 陶瓷材料 介电性能 微晶玻璃