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张鹤鸣
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作品数:306被引量:36H指数:4
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胡辉勇
作品数:471被引量:195H指数:7
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:应变SI BICMOS 双极器件 多晶 光刻
狄增峰
作品数:253被引量:21H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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王曦
作品数:528被引量:250H指数:9
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体