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刘正坤
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刘颖
作品数:126被引量:177H指数:7
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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付绍军
作品数:195被引量:362H指数:9
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
王宇
作品数:58被引量:11H指数:2
供职机构:中国科学技术大学
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徐向东
作品数:141被引量:355H指数:11
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻