搜索到 篇“ 微传声器 “的相关文章

相关作者

汪承灏
作品数：197被引量：308H指数：10
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：振动膜 芯片 硅 硅微电容传声器 压电
徐联
作品数：59被引量：17H指数：3
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：振动膜 硅微电容传声器 芯片 电容传声器 硅
田静
作品数：242被引量：465H指数：12
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：硅微电容传声器 声学 振动膜 电容传声器 有源噪声控制
李俊红
作品数：87被引量：66H指数：5
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：压电 硅 芯片 振动膜 矢量水听器
马军
作品数：43被引量：49H指数：5
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：分层介质 MEMS 矢量水听器 阵元 硅