搜索到 篇“ 微动台 “的相关文章

相关作者

谭久彬
作品数：2,325被引量：1,429H指数：18
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：隔振器 精密测量仪器 转子 精密测量技术 隔振技术
朱煜
作品数：566被引量：813H指数：16
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
张鸣
作品数：400被引量：279H指数：10
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
吴剑威
作品数：124被引量：67H指数：4
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 气浮 工件台 精密仪器 微动台
刘杨
作品数：251被引量：279H指数：9
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮