搜索到 篇“ 微机械传感器 “的相关文章

相关作者

吕树海
作品数：30被引量：18H指数：2
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 微机械传感器 角速率 MEMS
杨拥军
作品数：156被引量：215H指数：8
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
李海涛
作品数：10被引量：1H指数：1
供职机构：南京信息工程大学
研究主题：单晶硅片 微机械传感器 传感器 基板 测量电阻
王跃林
作品数：719被引量：795H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
廖小平
作品数：671被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学
研究主题：微波功率传感器 漏电流 硅基 悬臂梁 功率传感器