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一种MEMS微热板及其制备方法: 本发明公开了MEMS传感器技术领域内的一种MEMS微热板，包括：硅基底；隔热层，设置于硅基底上部，隔热层材质为多孔硅；绝缘层，设置于隔热层上方，绝缘层从下至上依次包括第一氧化硅层、氮化硅层和第二氧化硅层；金属层，设置于绝...; 时浩李浩马文力董文俊李霖袁海霞

共面式MEMS气体传感器微热板设计与仿真: 2024年; 【目的】常见膜式结构和悬浮式结构的MEMS气体传感器在垂直方向上存在寄生电场,会对气体传感器的检测信号造成一定影响。为了降低寄生电场对气体传感器性能的影响,提出了一种共面结构的MEMS气体传感器,并对其微热板进行了建模仿真及优化。【方法】利用SolidWorks对共面式MEMS气体传感器进行建模,并通过有限元分析方法从热稳定性、机械稳定性等方面对微热板进行了仿真。【结果】仿真结果表明:共面结构的微热板可以在整个气体传感器的测量区域内提供稳定、均匀的热分布,并且可以避免高温工作时微热板加热电极和气体传感器测量电极之间相互连通,为MEMS气体传感器提供优异的测量环境。【结论】共面式MEMS气体传感器不仅可以有效降低垂直方向上的寄生电场对传感器性能的影响,而且可以简化气体传感器的工艺流程。仿真结果也证明了共面结构的可行性,为实际MEMS气体传感器的设计和制备提供参考依据。; 周晓斌王玫王旭丹; 关键词：MEMS 气体传感器微热板有限元仿真

一种MEMS微热板、气体传感器芯片、气体传感器及车辆: 本实用新型实施例提供一种MEMS微热板、气体传感器芯片、气体传感器及车辆，包括：衬底，衬底包括正面和背面，背面设置有空腔，衬底上设有通气结构，通气结构将空腔与外部环境连通；支撑层，支撑层设置于衬底的正面上。本实用新型通过...; 梁汉英贺晓旭刘国宁皮文博罗有平

一种用于气体传感器的MEMS微热板及制作方法: 本发明提供一种用于气体传感器的MEMS微热板及制作方法，用于气体传感器的MEMS微热板包括：衬底，其具有正面和背面；空腔，其自所述衬底的正面延伸至所述衬底内；结构层，其位于所述衬底的正面，且所述结构层包括自所述衬底的正面...; 马清杰

一种高精度温度感测功能的MEMS微热板及其制备方法: 本发明提供一种高精度温度感测功能的MEMS微热板及其制备方法，涉及微电子器件技术领域，该MEMS微热板包括衬底；设置在所述衬底上的绝缘支撑层；设置在所述绝缘支撑层上的加热电阻层；设置在所述加热电阻层上的绝缘保护层；所述加...; 雷鸣

兰姆波微热板爆炸物传感器研究: 爆炸型恐怖袭击事件一直以来都严重危害着社会的发展及人们的生活。而如何进一步提高爆炸物探测的技术水平,研究出具有多种优点的爆炸物传感器就成了不可避免难题。因此,本文设计并研究了一种兰姆波微热板爆炸物传感器,具体工作内容如下...; 黄砚文; 关键词：兰姆波爆炸物气体传感器 MEMS

气敏传感阵列中微热板的研究: 电子鼻作为具有智能识别能力的气敏传感系统，其核心部件是气敏传感器阵列。部分气敏传感器由于高温工作的要求带有加热器。但目前诸多加热型传感器是分立式，因其体积大、功耗高等缺点限制了检测气体的浓度和种类。而采用MEMS技术的微...; 蒋茂刚; 关键词：气敏传感器微热板有限元分析

一种微热板阵列、芯片及微热板阵列结构的形成方法: 本申请实施例提供一种微热板阵列、芯片及微热板阵列结构的形成方法，该微热板阵列包括至少两个涂布有不同气敏材料的微热板单元，以实现多组分气体检测；每一所述微热板单元从下至上依次包括：衬底层、加热层、敏感层、绝缘层和测试层，其...; 孙建海陈婷婷周天烨权浩蒋开晟

MEMS微热板研究进展被引量：3: 2023年; 随着微纳加工技术的不断进步,传感器逐渐向微型化、低功耗、低成本发展。采用微机电系统(MEMS)工艺制备的微热板作为加热和支撑平台,为敏感材料提供稳定的加热温度。因此,微热板的热性能和机械性能是研制过程中重点关注的问题。本文从微热板的基本原理出发,讨论了微热板结构设计和电极几何形状的技术发展,并对微热板国内外研究现状和关键性能参数进行了总结评价。; 沈伟强杨俊超马薇张根伟杨杰曹树亚; 关键词：气体传感器微机电系统微热板

一种MEMS微热板及其制造方法: 本发明实施例公开了一种MEMS微热板及其制造方法，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，...; 程鑫陈宇龙权敦航李以文王剑高一帆

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