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感应耦合等离子体光源
用于UV光源的等离子体腔室包括规定等离子体限制区域的等离子体产生区域。端口被定位成与等离子体产生区域的一侧相邻，且允许产生的光传出腔室。高电压区域耦合到等离子体产生区域。接地区域耦合到高电压区域，并且规定被配置为耦合到地...
S·F·霍恩K·萨伊托W·内夫R·M·格日宾斯基M·J·罗德里克
一种基于感应耦合等离子体的新型蜂窝吸波复合结构
本发明公开了一种基于感应耦合等离子体的新型蜂窝吸波复合结构，包括感应耦合等离子体激发装置，其包括电源系统和真空系统；电源系统包括放电腔室、射频电源及通过射频阻抗匹配器与射频电源连接的放电线圈；真空系统包括与放电腔室连通的...
魏小龙徐浩军常怡鹏韩欣珉张文远郭旭
感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法
一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，该感应耦合等离子体分析系统具备：光谱仪，其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其对被分解后的光的空间分布进...
寺本庆之胁坂昭弘
在感应耦合等离子体处理室内以低偏压产生近衬底补充等离子体密度
衬底定位于电感耦合等离子体处理室的等离子体处理容积空间内的衬底支撑结构上。从第一射频信号发生器向设置在等离子体处理容积空间外部的线圈提供第一射频信号，以产生暴露于衬底的等离子体。从第二射频信号发生器向衬底支撑结构内的电极...
谭忠魁张依婷符谦徐晴吴垠萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼亚历克斯·帕特森
基于感应耦合等离子体的原子分析系统和方法
感应耦合等离子体(ICP)分析器使用ICP炬生成等离子体，在该ICP炬中，样品被雾化和电离。可以通过原子分析(例如质谱分析法(MS)或原子发射光谱分析法(AES))执行对原子离子的分析。基于颗粒的ICP分析包括通过在IC...
亚历山大·洛博达雷蒙德·琼迈克尔·沙利文谢尔盖·沃罗比耶夫罗伯特·罗滕贝格埃米尔·斯特拉图拉蒂夫马克西姆·沃罗诺夫马克·阿姆斯特朗
一种大气压感应耦合等离子体温度场的诊断方法
本公开了一种大气压感应耦合等离子体温度场的诊断方法，属于等离子体诊断科学与技术领域，该方法通过发射光谱仪、多条单色滤波光路和高速CCD相机，获得等离子体中局部点的辐射强度和整个等离子体辐射光中多条转动谱线的单色灰度图像，...
詹志华林启富曾梅花赵鹏胡立群
用于工件加工的感应耦合等离子体中的增强点火
提供了一种等离子体处理设备和相关方法。在一个示例中，等离子体处理设备包括：等离子体腔室；介电壁；邻近介电壁定位的感应耦合元件，被配置成利用处于维持等离子体腔室内的工艺气体中的等离子体的相同功率密度水平的射频能量引发工艺气...
S·E·萨瓦马绍铭
一种加工硅基材料的大气感应耦合等离子体发生器
本发明公开了一种加工硅基材料的大气感应耦合等离子体（ICP）发生器，主要由分体式炬管、炬管安装座、弹簧夹头、单匝线圈、端盖板、喷嘴和底板组成。与现有的用于硅基材料加工的ICP发生器相比，本发明具有以下突出优点：1.提升加...
余德平吴杰段亚洲邱吉尔姚进
感应耦合等离子体增强磁控溅射法制备MoO_(3)高透亲水光学薄膜
2023年
将磁控溅射和感应耦合相结合形成感应耦合等离子体增强磁控溅射技术(ICPMS),制备了MoO_(3)高透亲水光学薄膜。使用分光光度计、水接触角测试仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和X射线能谱仪,分别表征薄膜的光学性能、润湿性能、显微形貌、晶体结构和化学成分。通过正交实验法,以MoO_(3)薄膜的氧钼比、光学透过率、水接触角为指标,探究了感应耦合等离子体(ICP)氧氩比、ICP功率、靶位工作压强和ICP前处理时间工艺参数对MoO_(3)薄膜性能的影响。结果表明:氧氩比是影响性能的主要参数,其次是工作压强,影响最小参数是ICP功率。最优工艺参数是氧氩比400/300、靶位工作压强为0.15 Pa、功率为1500 W、前处理时间为18 min。研究为高透亲水光学薄膜应用,提供具体实验设计和工艺方法指导。
彭井泉郑学军冯春阳李方黄乐陈立左滨槐陈丽娟贺楚才
关键词：正交实验
一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器
本发明公开了一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，包括放电约束管外层、放电约束管内层、上紧固件、冷却水适配件、下紧固件、进气适配件和螺旋铜线圈，本发明放电约束管内层对放电区域进行约束，同时放电约束管内层上端向下开槽，使...
朱兴营陈连忠陈海群周法刘金涛刘祥马建平
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辛煜
作品数：104被引量：170H指数：7
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
宁兆元
作品数：128被引量：466H指数：14
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
李雪
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供职机构：中国科学院上海技术物理研究所
研究主题：INGAAS 铟镓砷 红外探测器 INGAAS探测器 探测器
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供职机构：中国科学院上海技术物理研究所
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