搜索到 篇“ 抗蚀剂 “的相关文章

相关作者

刘明
作品数：1,361被引量：405H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
王力元
作品数：92被引量：57H指数：4
供职机构：北京师范大学化学学院
研究主题：光产酸剂 光致抗蚀剂 光刻胶 缩醛 I
陈宝钦
作品数：198被引量：268H指数：9
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
杜春雷
作品数：613被引量：634H指数：13
供职机构：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题：石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
谢常青
作品数：506被引量：259H指数：8
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底