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王茂
作品数：77被引量：255H指数：9
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院空间控制与惯性技术研究中心
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曾鸣
作品数：90被引量：383H指数：11
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：转台 三轴转台 重复控制 测试转台 自适应
李庆祥
作品数：210被引量：1,362H指数：14
供职机构：清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题：集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
陈张玮
作品数：15被引量：115H指数：5
供职机构：清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题：测试转台 伺服转台 近场光存储 微电流 机械结构
李玉和
作品数：129被引量：933H指数：12
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机