搜索到 篇“ 热电堆 “的相关文章

相关作者

廖小平
作品数：671被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学
研究主题：微波功率传感器 漏电流 硅基 悬臂梁 功率传感器
王跃林
作品数：719被引量：795H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
熊斌
作品数：218被引量：195H指数：7
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
毛海央
作品数：107被引量：92H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：热电堆 纳米 红外光源 衬底 MEMS
张志强
作品数：302被引量：730H指数：14
供职机构：东南大学
研究主题：微波功率 微波功率传感器 砷化镓衬底 微机械 粘滞流体阻尼器