搜索到33篇“ 相移干涉轮廓仪“的相关文章
- 检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪被引量：7
- 2005年
- 基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm.
- 张红霞张以谟井文才周革李岩
- 关键词：相移干涉轮廓仪光纤连接器
- Mirau相移干涉轮廓仪检测微表面三维形貌
- 基于Mirau双光束干涉,设计了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪。Mirau干涉物镜中增加了支撑板,补偿板和分束板的表面质量要求相同,物镜为筒长无限的长工作距物镜。Mirau干涉物镜的数值孔径NA=0.3,放大率...
- 张红霞张以谟井文才周革李朝辉李岩
- 关键词：相移干涉轮廓仪光纤连接器
- 文献传递
- 基于相移干涉轮廓仪的相位去包裹算法
- 本文对基于相移干涉轮廓仪的相位去包裹算法进行了研究,在传统去包裹的基础上进行改进,识别包裹图中的噪声点,并给出了具体的绕过噪声点的路径相关去包裹算法。通过对实验室轮廓仪采得的光纤端面干涉图数据进行分析处理,结果证明,本文...
- 李岩张以谟井文才周革李朝辉张红霞
- 关键词：相移干涉相位恢复
- 文献传递
- 相移干涉计量中的相位调制方法及实现被引量：1
- 1996年
- 讨论了相移干涉计量中的相位调制方法及实现方法，进而提出并研制了适于连续相移干涉计量的外同步控制相位调制系统，实验结果表明其线性度优于３％，该系统已成功地用于自行研制的２ＤＳＲＯＰ１型高精度表面粗糙度轮廓仪中，仪器示值误差小于１６％，示值变动性小于３７％．
- 刘冲
- 关键词：相位调制
- 多波长相移干涉术研究
- 韦春龙于瀛洁李国栋郭红卫
- 高速发展的微电子、光电子等高科技领域为获得高性能元件和高信息容量，对元器件表面光滑程度提出了愈来愈高的要求，其表面粗糙度须达到纳米甚至亚纳米量级。如超光滑硅片，X光光学元件、二元光学元件、高密度磁盘、光盘等表面都要求其表...
- 关键词：
- 关键词：多波长干涉仪
- 基于相移散斑干涉术的EAST壁形貌离线测量及振动环境适应性研究
- 聚变能是人类文明永续发展的终极能源之一,而等离子体磁约束托卡马克则是最有可能实现可控核聚变的手段。在长脉冲及稳态托卡马克装置运行过程中,边界等离子体与面向等离子体材料（Plasma Facing Material,PFM...
- 崔晓倩
- 关键词：相移干涉术
- 微棱镜测试方法研究
- 目前微棱镜作为转向器件异军突起，被广泛应用于手机潜望式摄像系统以适应光学变焦性能日益提升的要求。对于这种几毫米尺寸的直角棱镜，光学企业开发了全套的加工工艺流程以实现手机厂的极致成本和品质控制要求。其中干涉法对于面形的检测...
- 朱贵博
- 大型非球面轮廓检测技术的比对研究
- 光学非球面的使用可以降低光学系统的复杂性，而且二次曲面在一定条件下没有球差。在常规光学系统中应用非球面，可以减少元件数量，简化光学系统，大幅度提高成像质量。在常规光学元件轮廓检测中，现已经发展了许多基于干涉的检测技术。而...
- 曾丹华
- 关键词：光学检测非球面镜光学系统
- 基于倾斜入射的直角棱镜大面测量装置研究
- 2022年
- 针对直角棱镜大面测量中可以消除多重干涉背景干扰的倾斜入射测量系统,设计了一种能直接进行直角棱镜大面测量的正置式倾斜入射干涉仪装置。该装置包括相移干涉仪主机、一体化载物工作台以及一对参考平晶。讨论了直角面参与反射带来的光线簇造成的多重干涉背景误差,采用3D偏折的方法来避免全内反射光干扰直角棱镜大面测量。实验部分,组装了基于倾斜入射的正置式相移干涉仪,并完成光路调校与参数标定,实现了直角棱镜大面面形的测量;使用白光轮廓仪对被测棱镜大面进行比对测量,结果一致。解决了直角棱镜条的测量问题,实现了微棱镜工业化在线测量,在直角棱镜加工中具有重要的应用价值。
- 朱贵博王青陈巍
- 关键词：直角棱镜
- 模拟托卡马克白光及振动环境下的激光散斑干涉初步研究
- 核聚变是目前最有可能解决人类能源问题的一种手段。托卡马克装置是最有可能实现受控核聚变的装置。在托卡马克装置运行过程中，面向等离子体的部件（PlasmaFaceingComponents,PFCs）材料会承受来自芯部的等离...
- 张强
- 关键词：托卡马克装置环境振动
相关作者
- 张以谟
- 作品数：516被引量：1,519H指数：18
- 供职机构：天津大学
- 研究主题：保偏光纤 光纤旋转连接器 偏振耦合 光互连 光纤
- 李岩
- 作品数：15被引量：44H指数：4
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院
- 研究主题：色散补偿光纤 光纤通信系统 光纤通信 补偿技术 色度色散
- 张红霞
- 作品数：322被引量：368H指数：10
- 供职机构：天津大学
- 研究主题：保偏光纤 偏振耦合 光纤旋转连接器 白光干涉 光纤
- 周革
- 作品数：115被引量：191H指数：7
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室
- 研究主题：光互连 光纤 机群系统 光互连网络 波长路由
- 井文才
- 作品数：146被引量：278H指数：10
- 供职机构：天津大学
- 研究主题：光互连 保偏光纤 光互连网络 光纤旋转连接器 白光干涉
