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用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏柏培高中赫陈思侃林晓辉李鸿曹森陈永春孙树博陈晓琦

离子束辅助沉积技术应用研究: 离子束辅助沉积技术在薄膜制备领域是一项重要技术,本文通过高能离子束来改善阴极表面形貌,并根据M型阴极的发射性能来评估离子束刻蚀的应用效果。主要研究了离子束能量和中和离子束这两项参数,应用扫描电子显微镜对比阴极刻蚀后的表面...; 时志兵范亚松马静赵请; 关键词：离子束阴极功函数

离子束辅助沉积镀膜装置及镀膜方法: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏陈思侃高中赫李鸿曹森陈永春陈晓琦孙树博林晓辉柏培

用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏林晓辉柏培陈思侃高中赫陈永春李鸿曹森陈晓琦孙树博

用于离子束辅助沉积镀膜装置的冷却系统: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏林晓辉陈思侃高中赫孙树博李鸿曹森陈永春陈晓琦

用于离子束辅助沉积镀膜装置的镀膜系统: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏林晓辉柏培陈思侃高中赫陈永春李鸿曹森陈晓琦孙树博

用于离子束辅助沉积镀膜装置的走带系统: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏柏培高中赫陈思侃林晓辉李鸿曹森陈永春孙树博陈晓琦

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏孙树博林晓辉陈思侃高中赫曹森李鸿陈永春陈晓琦柏培

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整系统: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏高中赫陈思侃孙树博林晓辉柏培李鸿曹森陈永春陈晓琦

用于离子束辅助沉积镀膜装置的离子源调整装置: 本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：...; 朱佳敏孙树博林晓辉陈思侃高中赫曹森李鸿陈永春陈晓琦柏培

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