搜索到 篇“ 衰减相移掩模 “的相关文章

相关作者

张锦
作品数：135被引量：216H指数：8
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
冯伯儒
作品数：109被引量：225H指数：9
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
侯德胜
作品数：62被引量：141H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
孙方
作品数：9被引量：4H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衰减相移掩模 相移掩模 光致抗蚀剂 光刻分辨率 KRF准分子激光
李艳秋
作品数：438被引量：332H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜