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一种金属薄膜厚度无损测量方法
本发明公开了一种金属薄膜厚度无损测量方法。本发明首先将光刻胶涂抹在清洗干净后的待镀膜基底上，基底表面部分被光刻胶覆盖，胶覆盖面积及厚度均无特殊要求，胶固化后覆盖膜边缘为平直线；然后在带有部分覆盖膜的基底上沉积金属薄膜；最...
李思勰闻明沈月王传军巢云秀许彦亭施晨琦赵琪刘子其
一种超低应力金属薄膜的制备方法
一种超低应力金属薄膜的制备方法，包括以下步骤：将超声清洗干燥后的非金属基底放入磁控溅射镀膜机的样品台上，进行等离子体清洗；在等离子体清洗后的非金属基底的表面上，通过第一阴极电源沉积多层厚度相同的单金属过渡层，以得到预设厚...
肖舒李文举范舒瑜
一种超低应力金属薄膜的制备方法
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肖舒李文举范舒瑜
一种金属薄膜蒸镀装置
本发明提供一种金属薄膜蒸镀装置，涉及薄膜电容器加工技术领域，包括加热组件；所述连接组件安装在加热组件上；所述搅动组件安装在加热组件上；所述安装组件安装在加热组件的顶部；所述蒸镀组件安装在加热组件的顶部；所述调节组件安装在...
邵淋锋俞晓瑜陈鑫鑫
一种沉淀金属薄膜的方法及量子芯片
本申请公开了一种沉淀金属薄膜的方法及量子芯片。该方法是在基底上沉积半导体薄膜，基于目标基础图案对沉积的半导体薄膜进行刻蚀，获得基础层；对基础层进行旋涂作业，以形成有预设厚度的负胶；对负胶进行紫外曝光或激光直写、显影，以在...
詹慧娟王翡祝莎莎马璐
一种金属薄膜复合电极、制备方法及其应用
本发明公开了一种金属薄膜复合电极、制备方法及其应用。所述制备方法包括：将金属粉末、有机溶剂和双氧水进行混合，使金属粉末与双氧水发生氧化反应生成金属过氧化物，金属过氧化物与有机溶剂发生取代反应得到有机金属过氧化物固体；将所...
周印华王文刘洋谢聪
一种基于叠层金属薄膜的隔热保温膜及其制备方法
本发明公开了一种基于叠层金属薄膜的隔热保温膜，包括：依次层叠的透明基底层、种子层、反射隔热层、隔离层；所述透明基底层为高分子聚合物薄膜；所述反射隔热层为金属薄膜；所述种子层和隔离层均为金属氧化物薄膜。该隔热保温膜具有高透...
王祯白文雅高进伟凌桂林
一种渗透阈值降低的金属薄膜复合电极、制备方法及其应用
本发明涉及一种渗透阈值降低的金属薄膜复合电极、制备方法及其应用，属于光电材料技术领域。本发明在透明基底层上旋涂氧化锌前体分散液后退火得到光学增透层；在光学增透层上采用物理气相沉积的方式沉积三氧化钼润湿层，于含有水蒸气的空...
周印华熊泽栋谢聪刘鑫璐
一种超平整Pd、Cu、Au二维单晶金属薄膜及其制备方法
本发明公开了一种超平整Pd、Cu、Au二维单晶金属薄膜及其制备方法，属于二维金属材料领域。该Pd、Cu、Au二维单晶薄膜的制备方法是以金属氯化物粉末为原料，混合Bi<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>粉末，...
吴金雄张磊
一种无衬底单原子层金属薄膜的机械减薄制备装置及方法
本发明公开了一种无衬底单原子层金属薄膜的机械减薄制备装置及方法。分别制备同质金属断口端和金属针尖，相向装载于电学‑力学样品杆两端；在透射电子显微镜内，通过压电陶瓷驱动金属针尖与断口接触后，施加偏压将两者焊接形成双晶/多晶...
王江伟邓晓彤祝祺
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徐可为
作品数：611被引量：2,338H指数：25
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作品数：1,475被引量：1,360H指数：14
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研究主题：基板 有机电致发光器件 柔性衬底 气体传感器 导电聚合物
刘明
作品数：1,361被引量：405H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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作品数：100被引量：193H指数：9
供职机构：中国科学院金属研究所
研究主题：金属薄膜 尺寸效应 金属材料 交流电 应变传感器
王军
作品数：390被引量：28H指数：3
供职机构：电子科技大学
研究主题：微桥结构 太赫兹 太赫兹辐射 太赫兹波 超材料