搜索到 篇“ 键合 “的相关文章

相关作者

欧欣
作品数：363被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 缺陷层 键合 压电薄膜 谐振器
黄庆安
作品数：918被引量：854H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
韩雷
作品数：133被引量：207H指数：10
供职机构：中南大学
研究主题：超声键合 键合强度 热超声倒装键合 引线键合 超声引线键合
张书胜
作品数：359被引量：394H指数：11
供职机构：郑州大学
研究主题：芳烃 毛细管电泳 三嗪 固定相 键合硅胶固定相
王跃林
作品数：719被引量：794H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合