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极紫外光刻的随机性问题及其研究进展
2024年
极紫外光刻技术是支撑最先端半导体芯片制造工艺的关键核心技术,有力推动了3 nm工艺节点的量产以及2 nm工艺节点的研发进程。极紫外光刻中的随机缺陷是限制其良率提升的关键难题。一方面,急剧减小的光刻图形特征尺寸对光刻胶各组分化学结构的规整要求越来越高,而光刻胶中存在的组分不均一、后烘过程中光酸迁移距离以及位置的不确定等因素都会导致缺陷,这些统称为化学随机性问题。另一方面,极紫外光源的波长(13.5 nm)较短,致使其光子密度很低,仅为上一代ArF光刻工艺中所使用光源(193 nm)的1/14,因此光子的散粒噪声大幅增加,导致了不可避免的光子随机性问题。这些问题的存在,使得EUV光刻胶中的材料体系在分子尺寸、分布均一等方面较上一代光刻材料有着更严格的要求。本文系统综述了近年来针对极紫外光刻胶中上述随机性问题的研究,并从化学随机性、光子随机性以及计算模拟三个方向对研究现状进行了追踪。
王翔何建君魏佳亮朱慧娥
关键词:极紫外光刻胶
一种基于意图随机性影响策略的行人轨迹预测方法
本发明公开了一种基于意图随机性影响策略的行人轨迹预测方法,涉及轨迹预测技术领域,本发明包括从行人历史轨迹中提取最后一帧的位移信息;从标准正态分布抽样获取随机数因子;将最后一帧的位移信息输入一个有偏置的线层,得到的结果与...
陈杰邓英剑黄志祥徐睿杜文天于敬仟李倩万辉耀李迎松
一种云端冷热数据随机性在线分层存储方法及系统
本发明公开了一种云端冷热数据随机性在线分层存储方法及系统,属于云存储、服务计算领域,本发明为了进一步降低云用户使用云存储服务的成本,并为云用户制定个化存储策略,本发明引入随机性在线算法,结合概率密度函数和数学期望,使得...
谢永杰潘晓东李伟泽黎达伟罗熙
密立根油滴实验随机性研究
2024年
对密立根油滴实验中油滴带电量的随机性进行研究。采用静态测量法得到实验数据后用SPSS软件对数据进行了分析,结合柯尔莫哥洛夫-斯米洛夫检验和夏皮诺-威尔克检验排除实验结果的偶然,并证实油滴带电量的单峰、对称和有界,验证了油滴电量呈正态分布的规律,进而得到一种人为干扰因素小的随机性验证方法,对实验中的误差分析有启发作用。
柳辛迪罗昌玲王荣超闫英豪陈康令蒲星辰虞游盛佳南
关键词:密立根油滴实验随机性对称性有界性
设计随机性方法论的探索
2024年
探索设计学科领域,开拓新的设计思维与理念、设计方法、设计内容与实践。运用了举例论证法、归纳演绎法的方法对设计随机性的概念进行全方位的定义与解析。设计随机性存在于设计的各个领域,对于人们有启示、指导的作用。在设计学科中增添了一条新的设计概念,是新的设计方法论,是设计学科重要课题。
徐子政张璐月
关键词:随机性方法论
减少决策随机性是日本央行当务之急
2024年
日本央行行长植田和男必须把控好言语分寸,并证明该行可以掌控自己的行为和后果,央行决策的可预测已有所增强。但日本却并非如此。植田和男(Kazuo Ueda)最近的震撼加息打破了货币实践的基本规则之一。从他八月下旬在日本国会毫无悔意的表现来看,他几乎没有从这次事件中吸取教训。不幸的后果将是信任度受损。
关键词:可预测性日本央行震撼性日本国会随机性信任度
相关随机性的生成方法及装置
本公开的实施例提供一种相关随机性的生成方法及装置。该方法由代理服务方执行,包括:接收被动用户方发送的主动用户标识;将主动用户标识对应的主动用户公钥发送至被动用户方,以使被动用户方基于主动用户公钥对第一明文加密得到第一密文...
孙小超陈立峰李腾飞赵华宇卫骞杜浩尤志强卞阳张伟奇
基于阈值电压随机性随机数产生
本申请案涉及基于阈值电压随机性随机数产生。例如,存储器装置可将电压施加到硫属化物元件,且增加所施加电压,至少直到所述所施加电压满足与所述硫属化物元件相关联的阈值电压。所述存储器装置可在所述所施加电压满足所述阈值电压的时...
I·托尔托雷利M·因帕拉C·C·S·纳伊
基于分量相依的风速随机性建模方法
2024年
由于微地形、微气象的影响,风电场风速的随机性特征复杂,为准确描述风速的随机性特征,提出基于分量相依的风速随机性特征建模方法。首先对风速序列的随机性特征进行提取,采用变分模态分解(VMD)将风速分解为多个不同频率的模态分量,以序列自相关系数(AC)为指标,对风速成分进行划分,得到风速的波动分量和随机性分量。然后,考虑风速随机性分量对波动分量的相依,以正态分布描述不同风速下的随机性特征,建立基于分量相依的风速随机性模型。以华北张家口某风电场的运行数据为例,验证该方法的有效。实验结果表明该文方法能更好地复现风速序列的随机性特征。
张家安王军燕刘辉吴林林王向伟
关键词:风速随机性特征提取
一种随机性在线分层缓存置换方法及系统
本发明涉及云计算领域,尤其涉及一种随机性在线分层缓存置换方法及系统,所述方法包括:S1,构建研究模型,确定研究模型的相关参数;S2,采集缓存资源信息,计算多平衡点、概率密度函数和数学期望,并计算随机因子,生成随机性在线分...
谢永杰潘晓东李伟泽罗熙

相关作者

吴杰康
作品数:492被引量:1,989H指数:21
供职机构:广东工业大学自动化学院
研究主题:微电网 电力系统 配电网 运行调度 电力市场
李杰
作品数:1,199被引量:5,366H指数:36
供职机构:西南交通大学
研究主题:混凝土 概率密度 概率密度演化 地震动 抗震
吕震宙
作品数:424被引量:2,180H指数:24
供职机构:西北工业大学
研究主题:可靠性 可靠性分析 重要抽样 分布参数 分析方法
鞠平
作品数:530被引量:4,154H指数:34
供职机构:浙江大学
研究主题:电力系统 参数辨识 负荷模型 电力负荷 负荷建模
杨志晓
作品数:57被引量:45H指数:3
供职机构:河南工业大学
研究主题:随机性 侦测 云模型 电子设备 可信网络