搜索到 篇“ 高密度等离子体 “的相关文章

相关作者

宋志伟
作品数：50被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：高密度等离子体 气相沉积 膜材料 不均匀性 反应气体
褚卫国
作品数：202被引量：50H指数：4
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：衬底 高密度等离子体 锂离子电池正极材料 气相沉积 锂
李超波
作品数：354被引量：157H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
夏洋
作品数：501被引量：61H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
李楠
作品数：133被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术