搜索到 篇“ CVD装置 “的相关文章

相关作者

聂凤明
作品数：74被引量：16H指数：2
供职机构：中国兵器科学研究院
研究主题：光学元件 离子束 离子束加工 光学机械 离子源
裴宁
作品数：63被引量：7H指数：2
供职机构：中国兵器科学研究院
研究主题：光学元件 离子束 离子束加工 离子源 法拉第
张广平
作品数：36被引量：6H指数：1
供职机构：中国兵器科学研究院
研究主题：光学元件 离子源 大口径光学元件 定位装置 夹紧装置
李晓静
作品数：91被引量：47H指数：4
供职机构：中国兵器科学研究院
研究主题：离子束 光学元件 金刚石膜 离子束加工 法拉第
邬苏东
作品数：22被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
研究主题：反应气体 等离子体 衬底 冷却剂 电感耦合