搜索到 篇“ ICP刻蚀 “的相关文章

相关作者

吕英
作品数：7被引量：21H指数：3
供职机构：厦门大学
研究主题：ICP刻蚀 AZO薄膜 透明导电薄膜 SIC 感应耦合等离子体刻蚀
沈光地
作品数：445被引量：984H指数：12
供职机构：北京工业大学
研究主题：半导体激光器 垂直腔面发射激光器 发光二极管 红外探测器 MOCVD
张大明
作品数：428被引量：333H指数：9
供职机构：吉林大学
研究主题：包层 波导 热光开关 聚合物光波导 阵列波导光栅
孟杰
作品数：11被引量：5H指数：1
供职机构：吉林大学
研究主题：聚合物光波导 聚合物波导 等离子体刻蚀 ICP刻蚀 各向异性
吴正云
作品数：84被引量：98H指数：5
供职机构：厦门大学
研究主题：4H-SIC 紫外光电探测器 雪崩光电探测器 光电子学 半导体光电探测器