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伊福廷
作品数：141被引量：132H指数：6
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彭良强
作品数：63被引量：112H指数：6
供职机构：中国科学院
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陈迪
作品数：216被引量：368H指数：10
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
张菊芳
作品数：47被引量：64H指数：4
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 电火花加工
田扬超
作品数：146被引量：271H指数：9
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光刻胶 光刻 LIGA X射线 LIGA技术