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一种MEMS陀螺仪
本发明公开一种MEMS陀螺仪，属于惯性测量器件领域。本发明的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成，包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并...
朱福龙曾鹏军卢子淋胡剑雄陈前徐伊昕刘肖剑王淼操
高精度MEMS陀螺仪
本发明揭示了一种高精度MEMS陀螺仪，包括硅基底及两个质量块，两个所述质量块对称设置于所述硅基底上，还包括一干扰模态隔离结构，两个所述质量块均为框架结构、由质量块外框及质量块内框组合而成，两个所述质量块外框分别与所述硅基...
苏岩
MEMS陀螺仪及其制备方法
本发明提供一种MEMS陀螺仪及其制备方法，MEMS陀螺仪包括基座、第一电极层、第二电极层、支撑梁和质量块；所述第一电极层和所述第二电极层分别设置于所述基座的第一表面；所述支撑梁设置于所述基座的第一表面；所述质量块设置于所...
李维平兰之康
一种单轴MEMS陀螺仪
本实用新型涉及陀螺仪技术领域，公开一种单轴MEMS陀螺仪，包括：驱动锚点和驱动连接弹性件，驱动连接弹性件固定在驱动锚点上；两个驱动质量块，沿X轴方向分布；检测连接弹性件和四个检测质量块，每个检测质量块均通过检测连接弹性件...
董自强高杰崔焱柳星普刘贻兵
一种单轴MEMS陀螺仪
本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种单轴MEMS陀螺仪，包括：驱动锚点和驱动连接弹性件，驱动连接弹性件固定在驱动锚点上；两个驱动质量块，沿X轴方向分布；检测连接弹性件和四个检测质量块，每个检测质量块均通过检测连接弹性件与驱...
董自强高杰崔焱柳星普刘贻兵
一种单轴MEMS陀螺仪
本发明涉及一种单轴MEMS陀螺仪，包括基底和至少一个陀螺机构，每个陀螺机构包括正交布置的两个驱动组件、正交布置的两个质量块组件以及正交布置的两个检测组件，每个驱动组件包括两个驱动模块；每个质量块组件包括两个质量块；每个检...
朱泽华张裕华
一种MEMS陀螺仪安装装置
本实用新型提供的一种MEMS陀螺仪安装装置，本实用新型安装部件少，安装简单高效，金属安装板设计的工形槽可用于放置MEMS陀螺仪，圆柱台阶通过压紧第一U形槽的边缘将金属安装板固定在固定支架上，固定螺钉的螺帽台阶通过压紧第二...
薛胜龙杨玲孔凡康王先鹏
一种单轴MEMS陀螺仪
本发明涉及一种单轴MEMS陀螺仪，包括基底和至少一个陀螺机构，每个陀螺机构包括正交布置的两个驱动组件、正交布置的两个质量块组件以及正交布置的两个检测组件，每个驱动组件包括两个驱动模块；每个质量块组件包括两个质量块；每个检...
朱泽华张裕华
一种MEMS陀螺仪测控电路
本发明涉及一种MEMS陀螺仪测控电路，包括驱动闭环控制单元、第一DAC电路、第一滤波与阻抗匹配电路、正交耦合抑制电路、第二信号放大单元、第二ADC电路、检测数字输出单元、第二DAC电路、第二滤波与阻抗匹配电路、第一信号放...
陈李谭军韦素兰
一种三轴MEMS陀螺仪
本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种三轴MEMS陀螺仪，包括：四个质量块，四个质量块呈正交对称分布，分别为第一质量块、第二质量块、第三质量块及第四质量块；中心耦合组件，包括中心锚点和中心连接件；检测块和检测连接梁，检测块的...
胡永龙董自强高杰崔焱柳星普
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许斌
作品数：305被引量：380H指数：15
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研究主题：煤沥青 飞行器 高超声速飞行器 MEMS陀螺仪 跟踪误差
李杰
作品数：830被引量：3,732H指数：25
供职机构：中北大学信息与通信工程学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室
研究主题：介质阻挡放电 等离子体 FPGA 脉冲放电 电极
张睿
作品数：38被引量：30H指数：3
供职机构：西北工业大学
研究主题：智能化仪器仪表 MEMS陀螺仪 参数辨识 自适应 驱动控制
刘俊
作品数：1,530被引量：2,174H指数：17
供职机构：中北大学
研究主题：加速度计 色心 金刚石 微加速度计 传感器
李宏生
作品数：210被引量：317H指数：9
供职机构：东南大学
研究主题：硅 谐振式加速度计 硅微陀螺仪 陀螺仪 零偏