-
张巍
-
-
- 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 所在地区:吉林省 长春市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 倪明阳
- 作品数：122被引量：78H指数：6
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
- 隋永新
- 作品数：441被引量：576H指数：13
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
- 杨怀江
- 作品数：427被引量：626H指数：13
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
- 巩岩
- 作品数：232被引量：537H指数：15
- 供职机构：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
- 研究主题：光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
- 赵磊
- 作品数：112被引量：140H指数：8
- 供职机构：大连理工大学
- 研究主题：光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动
