李兴凯
作品数: 2被引量:1H指数:1
  • 所属机构:西安微电子技术研究所
  • 所在地区:陕西省 西安市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

单光宝
作品数:15被引量:17H指数:2
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS TSV 硅微加速度计 MEMS器件 掩膜
刘佑宝
作品数:86被引量:115H指数:5
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:砷化镓 MESFET SOI 模型参数 PD_SOI
陈福山
作品数:3被引量:1H指数:1
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:CR SIO 薄膜电阻器 溅射法制备 MEMS器件
王永录
作品数:2被引量:0H指数:0
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS 掩膜 封装 硅微加速度计 武器