-
路新春
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 雒建斌
- 作品数：624被引量：1,164H指数：19
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
- 何永勇
- 作品数：257被引量：876H指数：16
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
- 王同庆
- 作品数：90被引量：55H指数：5
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
- 赵德文
- 作品数：312被引量：591H指数：12
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
- 沈攀
- 作品数：63被引量：1H指数：1
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
