-
张佩
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:上海市自然科学基金
相关作者
- 黄惠杰
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:490被引量:638H指数:16
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
- 赵永凯
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:78被引量:255H指数:12
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
- 杨巍
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:12被引量:17H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:生物气溶胶 气溶胶粒子 非生物 监测预警 监测环境
- 朱菁
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:65被引量:82H指数:6
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
- 王光辉
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:8被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:非生物 监测预警 监测环境 集成接口 激光监测