张佩
作品数: 36被引量:37H指数:5
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:上海市自然科学基金

相关作者

黄惠杰
作品数:490被引量:638H指数:16
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
赵永凯
作品数:78被引量:255H指数:12
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
杨巍
作品数:12被引量:17H指数:2
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物气溶胶 气溶胶粒子 非生物 监测预警 监测环境
朱菁
作品数:65被引量:82H指数:6
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
王光辉
作品数:8被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:非生物 监测预警 监测环境 集成接口 激光监测