-
徐德辉
-
-
- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 熊斌
- 作品数：218被引量：195H指数：7
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
- 王跃林
- 作品数：719被引量：795H指数：14
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
- 马颖蕾
- 作品数：25被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变
- 吴国强
- 作品数：24被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：微机械 磁场传感器 感应电动势 干法刻蚀 温度影响
- 刘松
- 作品数：13被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：磁场传感器 谐振结构 磁场测量 静电力 静电
