王辰伟
作品数: 118被引量:165H指数:6
  • 所属机构:河北工业大学
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项

相关作者

刘玉岭
作品数:481被引量:749H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
牛新环
作品数:126被引量:320H指数:9
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
高宝红
作品数:72被引量:52H指数:4
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
王胜利
作品数:58被引量:76H指数:5
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
高娇娇
作品数:16被引量:49H指数:5
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性