任丁
作品数: 29被引量:14H指数:2
  • 所属机构:四川大学
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

林黎蔚
作品数:39被引量:8H指数:2
供职机构:四川大学
研究主题:扩散阻挡层 阻挡层 铜互连 超深 SUB
黄宁康
作品数:85被引量:118H指数:5
供职机构:四川大学
研究主题:SIC涂层 离子束 涂层 ZRO 离子注入
刘波
作品数:86被引量:139H指数:5
供职机构:四川大学
研究主题:阻挡层 扩散阻挡层 SUB 超深 铜互连
展长勇
作品数:34被引量:18H指数:3
供职机构:四川大学
研究主题:多孔硅 高压脉冲电源 离子源 电化学刻蚀 形貌
邹宇
作品数:26被引量:2H指数:1
供职机构:四川大学
研究主题:高压脉冲电源 离子源 多孔硅 电化学刻蚀 掺杂