刘佳
作品数: 11被引量:3H指数:1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:中国科学院“百人计划”

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骆志炯
作品数:332被引量:5H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 半导体结构 沟道 堆叠 介质层
王鹤飞
作品数:10被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 氧化层 半导体结构 刻蚀 晶体管