张福安
作品数： 30被引量：14H指数：2
  • 所属机构:中国科学院电工研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

顾文琪
作品数：99被引量：76H指数：4
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
薛虹
作品数：48被引量：20H指数：3
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
彭开武
作品数：17被引量：15H指数：3
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：透射电镜 电子束曝光 聚焦离子束 缩小投影电子束曝光 电子束曝光机
王理明
作品数：19被引量：6H指数：2
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：生物芯片 电子束曝光 电子束曝光机 DY 机械结构
靳鹏云
作品数：29被引量：15H指数：2
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光 电子束 图形发生器 SEM 扫描电子显微镜
作品列表