任琮欣
作品数: 40被引量:63H指数:5
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:一般工业技术
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

柳襄怀
作品数:140被引量:575H指数:12
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
邹世昌
作品数:200被引量:248H指数:9
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
江炳尧
作品数:33被引量:33H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
陈国梁
作品数:11被引量:9H指数:2
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:超导薄膜 YBA 超导膜 YBACUO 离子注入
冯涛
作品数:86被引量:207H指数:8
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射