安旭
作品数： 4被引量：0H指数：0
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程

相关作者

徐丰仁
作品数：14被引量：8H指数：2
供职机构：清华大学
研究主题：静压气体轴承 精密工作台 自吸式 静压轴承 工作台
沈钊
作品数：12被引量：0H指数：0
供职机构：天津大学
研究主题：精密工作台 工作台(机床) 静压气体轴承 自吸式 光刻机
作品列表