李俊杰
作品数: 236被引量:136H指数:6
  • 所属机构:中国科学院物理研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

顾长志
作品数:318被引量:234H指数:9
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜
杨海方
作品数:101被引量:38H指数:4
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:石墨烯 定影 反应离子刻蚀 金属 电子束曝光
金爱子
作品数:68被引量:63H指数:5
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
全保刚
作品数:51被引量:11H指数:2
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:湿法腐蚀 光学元件 电子束曝光 定影 电子束光刻
刘哲
作品数:42被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 基底 光刻胶 衬底 离子束辐照