刘金虎
作品数: 23被引量:3H指数:1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

李超波
作品数:343被引量:152H指数:7
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
解婧
作品数:90被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
范涛
作品数:37被引量:13H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMOS带隙基准电压源 基准电压源 芯片 参考电压源 键合
郜晨希
作品数:23被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:压力传感器 金属电极 纳米线阵列 纳米线 膜片
夏洋
作品数:500被引量:53H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺