- 0.5μm CMOS腐蚀工艺研究
- 2002年
- 本文主要介绍了0.5 μm CMOS 工艺中一些腐蚀模块的工艺。
- 莫科伟刘丽艳周彬吴洪强
- 关键词：CMOS
- Flash memory中的叠栅腐蚀工艺
- 2002年
- 本文主要介绍了 Intel 式 Flash memory 单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了 Flash 叠栅自对准腐蚀对 Flash 性能的重要性。
- 莫科伟肖军韩隽
- 关键词：FLASHMEMORY
- 关于PBL叠层腐蚀后PITTING的研究
- 2002年
- 本文主要研究了 polysilicon Buffered Locos(PBL)叠层腐蚀后 PITING 的问题。
- 莫科伟刘丽艳吴洪强周彬
- 关键词：PBLPITTING干法湿法
