-
陈猛
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王曦
- 作品数：527被引量：251H指数：9
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
- 陈静
- 作品数：237被引量：23H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：晶体管 浮体效应 SOI 阈值电压 存储器单元
- 董业民
- 作品数：135被引量：39H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：SOI工艺 注氧隔离 抗辐射 场效应晶体管 绝缘体
- 王湘
- 作品数：33被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：衬底 注氧隔离 键合 高温退火 离子注入
- 林梓鑫
- 作品数：44被引量：113H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
