唐彬
作品数: 106被引量:36H指数:3
  • 所属机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
  • 所在地区:四川省 绵阳市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

苏伟
作品数:84被引量:23H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
熊壮
作品数:60被引量:13H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 易加工 极板 振梁加速度计
张照云
作品数:76被引量:24H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
刘显学
作品数:64被引量:23H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微开关
彭勃
作品数:55被引量:69H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计