杜广煜
作品数: 65被引量:94H指数:6
  • 所属机构:东北大学机械工程与自动化学院
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:一般工业技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

巴德纯
作品数:402被引量:1,047H指数:15
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 抽气 干泵
姜文全
作品数:65被引量:179H指数:8
供职机构:辽宁石油化工大学机械工程学院
研究主题:分子动力学 金属薄膜 超临界压力 分子动力学研究 微裂纹
杨帆
作品数:65被引量:285H指数:10
供职机构:辽宁石油化工大学石油天然气工程学院
研究主题:分子动力学 超临界压力 分子动力学研究 微裂纹 振动
刘坤
作品数:256被引量:527H指数:13
供职机构:辽宁科技大学
研究主题:数值模拟 干泵 氧枪 高真空 炉外精炼
谭祯
作品数:23被引量:72H指数:6
供职机构:沈阳广播电视大学
研究主题:电弧离子镀 叶片 阻尼性能 阻尼 机匣
射频溅射工艺对WSx薄膜摩擦性能的影响
2009年
采用射频溅射法以3Cr13马氏体不锈钢为基片制备了硫化钨薄膜。通过物相分析和表面形貌观察,以及测定微区化学成分、结合力和摩擦因数,研究了溅射功率、工作压力和沉积时间等溅射工艺条件对薄膜摩擦性能的影响。结果表明通过射频溅射法可获得非晶态WSx薄膜,薄膜的S/W比一般小于2,并受溅射工艺影响较为明显,随溅射功率的升高逐渐降低,随溅射时间的延长明显升高。薄膜结合力受溅射工艺影响并不显著。通过射频溅射所获得薄膜的摩擦因数在一定范围内与其硫钨比成反比。
杜广煜巴德纯王晓光
关键词:射频溅射化学成分
纳米微痕对金属涂层阻尼性能影响研究
2017年
研究了振动载荷作用下金属涂层中纳米微痕对其阻尼影响机理,采用LAMMPS分子动力学模拟软件对理想结构金属涂层和含纳米微痕涂层进行模拟计算,求得振动作用下各模型的应力-应变关系曲线及含纳米微痕涂层模型的总能量、微观结构变化。通过两个模型的应力-应变关系曲线对比分析了不同结构模型的阻尼性能,并通过能量和微观结构变化,进一步探讨了纳米微痕对涂层阻尼影响的机理。结果表明:纳米微痕周围的位错、空位及弯结对的变化增强了涂层的阻尼性能,并且纳米微痕未发生扩展破坏。
姜文全杜广煜巴德纯杨帆
关键词:金属涂层分子动力学位错阻尼
微尺度质谱仪离子源结构设计及离子光学系统仿真被引量:4
2019年
文章针对多领域对便携式质谱仪的需求,对微尺度质谱仪的核心部件离子源进行结构设计,并利用离子光学模拟软件SIMION进行仿真,探究电极电压、透镜结构、电极结构等对离子传输的影响并进行优化,获取相关参数研究规律,为微尺度质谱仪的研制提供设计依据。
张浩窦仁超刘坤孟冬辉巴德纯杜广煜巴要帅孙立臣闫荣鑫
关键词:离子源
金属薄膜表面微裂纹萌生行为的分子动力学研究
基体-薄膜结构是微电子器件中的典型结构,尤其是金属薄膜已被广泛的应用到微电子器件上。金属薄膜在制备过程中产生的表面微裂纹对薄膜的力学性能有着较大的影响,并且表面微裂纹尖端扩展所导致的薄膜破裂,更是造成薄膜失效的主要形式,...
姜文全杜广煜巴德纯杨帆
关键词:金属薄膜微裂纹分子动力学
文献传递
二硫化钨固体润滑薄膜润滑机理及研究现状
本文描述了二硫化钨固体润滑薄膜的润滑机理,对二硫化钨固体润滑薄膜的研究现状做了简要概述,并提出了二硫化钨薄膜的发展前景。
杜广煜巴德纯王晓光惠秀梅
关键词:固体润滑润滑机理
文献传递
多孔金属薄膜阻尼减振微观机理研究被引量:10
2015年
研究了多孔金属薄膜的阻尼性能和微观机理.采用分子动力学方法及扫描电镜(SEM)原位观察实验手段对多孔金属薄膜阻尼进行研究,得出金属薄膜应变滞后于应力周期性变化以及弹性势能周期性衰减的规律,并通过应变滞后应力的时间差求得损耗因子;从微观结构上可看出,在薄膜孔缺陷附近<110>晶向上经历了位错产生、并且位错呈阶梯状向前发射的变化;在SEM原位拉伸、卸载实验中观察到有微裂纹的萌生、斜向阶梯扩展、收缩及消失的周期过程.结果表明:在周期载荷作用下,多孔金属薄膜的孔缺陷附近产生的位错可以挣脱开弱钉扎点并限制在强钉扎点上,由于位错的变化及附近晶界间的相对滑动产生内摩擦,消耗了系统的部分弹性势能,引起金属薄膜的阻尼减振效应,从而揭示了多孔金属涂层阻尼产生的微观机理.
姜文全杜广煜巴德纯杨帆
关键词:分子动力学阻尼性能内耗
YSZ涂层的阻尼性能研究
随着航空发动机不断发展,由于振动过大引起的可靠性问题比较突出。关键部件稳定性和可靠性会对整体带来很大的影响。阻尼涂层可以对基体进行有效的振动抑制,进而降低振动引发的多发性故障。阻尼性能是研究热障涂层的一个新的趋势。对于Y...
李国浩宁久鑫杜广煜巴德纯
关键词:热障涂层EB-PVD工艺参数阻尼特性
文献传递
基底偏压对电弧离子镀NiCrAlY涂层阻尼性能的影响被引量:1
2012年
采用电弧离子镀方法在不锈钢基片上制备了NiCrAlY涂层,在制备过程中改变基底偏压分别取50,100,200,300V。对涂层样品分别进行物相分析,表面形貌观察,测定微区化学成分,并利用动态机械分析仪(DMA)对涂层样品的阻尼性能进行测试。结果表明,利用电弧离子镀的方法可以在不锈钢基底上获得均匀的NiCrAlY涂层。涂层为晶态结构,主要由γ-Ni相,β-NiAl相,γ′-Ni3Al相和α-Cr组成。制备过程中的偏压变化对涂层的表面形貌有明显影响,对涂层的化学成分影响不大。DMA结果表明NiCrAlY涂层能明显地提高基底材料的阻尼性能,同时随着偏压增大,涂层样品的阻尼因子有所提高。
杜广煜谭祯孙伟柴昊巴德纯韩清凯
关键词:电弧离子镀NICRALY
计算模拟方法在真空镀膜技术中的应用研究
真空镀膜技术是表面工程中最为重要的技术手段之一,主要用以实现:提高材料抵御环境的能力和赋予材料表面新的性能如装饰、机械以及一些特殊功能(声、电、光、磁及其转换和各种特殊的物理、化学性能)。随着计算技术和理论的发展,越来越...
杜广煜
文献传递
线性微波化学气相沉积制备SiN_x薄膜的微结构及光学性能研究被引量:1
2015年
利用自主研发的线性微波化学气相沉积系统在不同微波功率、微波占空比、基片温度、特气比例条件下制备了SiNx薄膜.通过扫描电子显微镜、椭圆偏振仪等表征测量技术,研究了不同工艺参数对SiNx薄膜表面形貌、元素配比、折射率、沉积速度的影响,并探讨了薄膜元素配比、折射率、沉积速度间的关系.结果表明:利用线性微波沉积技术,不同工艺参数下制备的SiNx薄膜组成元素分布均匀,同时具有平整的表面状态;特气比例和微波占空比是影响薄膜折射率的最主要因素,薄膜折射率在1.92—2.33之间连续可调;微波功率、微波占空比、沉积温度、特气比例都对SiNx薄膜沉积速度影响较大,制备的SiNx薄膜最大沉积速度为135 nm·min-1.
张健巴德纯赵崇凌刘坤杜广煜
关键词:氮化硅薄膜折射率