卢维尔
作品数: 113被引量:28H指数:3
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

夏洋
作品数:500被引量:53H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
李楠
作品数:131被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
李超波
作品数:343被引量:152H指数:7
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
赵丽莉
作品数:69被引量:14H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 离子注入 菲涅耳波带片 注入机 特性参数
解婧
作品数:90被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂