周庆奎
作品数: 7被引量:8H指数:2
  • 所属机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
  • 研究方向:电子电信

相关作者

李霖
作品数:6被引量:9H指数:2
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:曝光机 找平 光刻机 分辨率 控制研究
刘玄博
作品数:8被引量:15H指数:2
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻机 直流伺服电机 控制系统 运动控制 宽禁带半导体
宋婉贞
作品数:17被引量:17H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 太阳能 伺服控制 PLC 半导体设备
宫晨
作品数:9被引量:16H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:全自动 引线键合机 半导体设备 图像映射 以太网
陈威
作品数:10被引量:13H指数:2
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 有限元模型 有限元分析 300MM硅片