戴文俊
作品数： 35被引量：0H指数：0
  • 所属机构:上海集成电路研发中心
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:文化科学

相关作者

王毅博
作品数：18被引量：11H指数：2
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：物料输送系统 自动化 晶圆 存储设备 传动皮带
李佳青
作品数：37被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：物料输送系统 物料输送 物料 输送车 硅片
黄仁东
作品数：40被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
作品列表