-
檀柏梅
-
-
- 所属机构:河北工业大学
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 刘玉岭
- 作品数：481被引量：726H指数：13
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 牛新环
- 作品数：124被引量：306H指数：9
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
- 高宝红
- 作品数：69被引量：46H指数：4
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
- 李薇薇
- 作品数：54被引量：97H指数：6
- 供职机构：河北工业大学信息工程学院
- 研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
- 周建伟
- 作品数：60被引量：124H指数：6
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
