-
陈宜方
-
-
- 所属机构:复旦大学
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 陆冰睿
- 作品数：48被引量：10H指数：2
- 供职机构：复旦大学
- 研究主题：电子束光刻 光刻胶 纳米 旋涂 石墨烯
- 万景
- 作品数：60被引量：0H指数：0
- 供职机构：复旦大学
- 研究主题：晶体管 绝缘层上硅 掺杂 正反馈 沟道
- 张思超
- 作品数：7被引量：4H指数：1
- 供职机构：复旦大学
- 研究主题：电子束光刻 深反应离子刻蚀 衬底 波带片 旋涂法
- 刘建朋
- 作品数：7被引量：4H指数：1
- 供职机构：复旦大学
- 研究主题：高宽比 电子束光刻 波带片 自对准 子层
- 徐晨
- 作品数：14被引量：11H指数：2
- 供职机构：复旦大学
- 研究主题：电子束光刻 衬底 波带片 玻璃化 表面粗糙度
