霍同林
作品数: 72被引量:189H指数:8
  • 所属机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
  • 所在地区:安徽省 合肥市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

周洪军
作品数:84被引量:207H指数:8
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
洪义麟
作品数:186被引量:401H指数:11
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
徐向东
作品数:142被引量:356H指数:11
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
付绍军
作品数:198被引量:360H指数:9
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
陶晓明
作品数:32被引量:93H指数:7
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶